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分子束外延设备是实验室中制备高性能单晶材料薄膜的核心设备,可用于制备高性能的氧化物材料、拓扑绝缘体等。系统采用模块化设计方便后续升级维护,可与我司其他设备互联实现多种材料的沉积。
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